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      把需要超高洁净度级别(如1级或10级)的工艺生产线,放在与室内空气环境隔绝的管道中的净化处理方式,叫洁净管道。这种方式要求工艺生产必须是自动化的,高效过滤器必须是以0.1μm尘粒为标准的才能实现超高洁净度。此外,这种方式由于被净化的是管道中的空气,送、回风量很小,可以大幅度地节约能量,是洁净技术的发展方向,也被称为第四代净化方式。
 

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